차세대 반도체 혁신공유대학 사업단

2024 동계 방학 반도체 공정 몰입교육

1. 개요

가. 교육명: 2024 동계 방학 반도체 공정 몰입 교육

나. 일시

1) 이론교육: 2024. 1. 8.(월) ~ 9.(화) 9:00 ~ 18:00

2) 실습교육: 2024. 1. 10.(수) ~ 12.(금) 10:00 ~ 18:00

다. 장소

1) 이론교육: 대구대학교 내 강의실(장소 교육 전 공지 예정)

2) 실습교육: 대전 나노종합기술원

라. 교육 관련 사항(★★★)

1) 두가지 선택지 중 한가지 선택 가능

- 이론만 이수

- 이론+실습 이수

2) 교육 종료 후 이론/실습 교육별 수료증 발급

2. 신청 안내

가. 신청대상: 반도체에 관심 있는 대구대학교 학부생(전 학과) 대상

나. 모집인원

1) 이론교육: 선착순 30명

2) 실습교육: 선착순 20명

다. 신청방법: 네이버 폼 링크를 통한 신청(https://forms.gle/D59ru2n4ufujoGjX7)

라. 신청기한: 2023. 11. 29.(수) ~ 12. 13.(수) 17:00까지

3. 교육 내용

가. 이론교육

1) 반도체 개론

2) Photo Lithography, Vacuum Principle

3) DRY ETCH vs WET ETCH/CVD vs PVD

4) Plasma Physics/Thin Film Deposition/ION Implantation

5) Dry ETCH Process/Diffusion Process/CMP Process

6) Damascene Mechanism/RCA & IMEC Clean

나. 실습교육(조별 실습)

1) 클린룸 및 청정도 등급 이해와 출입 시 준수사항

2) Photo(노광)/Etching Process(Dry-습식) 과정 기술

3) Diffusion(급속열산화막)/Thinfilm Process(물리·화학증착) 기술 습득

4) Cleaning/Measurement Process(세정·두께측정·현상확인) 기술 습득

5) 실습교육을 통한 실제 장비운영 원리 및 방법 이해

4. 교육 상세 일정

가. 이론교육

교육일정		교육내용	비고
이론 1일차 (1/8(월))	09:00 ~ 10:30	반도체 개론	추후 공지
	10:30 ~ 11:30	PHOTO Lithography
	11:30 ~ 12:30
	12:30 ~ 13:30	점심 시간
	13:30 ~ 14:30	PHOTO Lithography
	14:30 ~ 15:30	Vacuum Principle
	15:30 ~ 16:30	DRY ETCH vs WET ETCH
	16:30 ~ 17:30	PLASMA Physics
	17:30 ~ 18:30	Dry ETCH Process
이론 2일차 (1/9(화))	09:00 ~ 10:30	Thin Film Deposition
	10:30 ~ 11:30	CVD vs PVD
	11:30 ~ 12:30	Diffusion Process
	12:30 ~ 13:30	점심 시간
	13:30 ~ 14:30	ION Implantation
	14:30 ~ 15:30	CMP Process
	15:30 ~ 16:30	Damascene Mechanism
	16:30 ~ 17:30	RCA & IMEC Clean
	17:30 ~ 18:30	WET Clean vs Dry Clean
1) 교육 장소 및 내용은 변경될 수 있음 2) 지원사항: 중식, 교육자료 등 ※ 상세 사항은 교육 전 한번 더 안내 예정 ※

나. 실습교육(두 개 조로 나누어 진행)

교육일정		교육내용			비고
실습 1일차 (1/10(수))	10:00 ~ 11:00	오리엔테이션			추후 공지
	11:00 ~ 12:00	클린룸 출입 및 안전교육
	12:00 ~ 13:30	점심 시간			-
	13:30 ~ 15:30	반도체 기초 이론교육			추후 공지
	15:30 ~ 16:00	휴식 시간			-
	16:00 ~ 17:00	포토 실습 이론 교육			추후 공지
	17:00 ~ 18:00	애칭 실습 이론 교육
실습 2일차 (1/11(목))	10:00 ~ 11:00	확산 실습 이론 교육			추후 공지
	11:00 ~ 12:00	박막 실습 이론 교육
	12:00 ~ 13:30	점심 시간			-
	13:30 ~ 15:30	1조	2조		추후 공지
		포토 실습 교육	애칭 실습 교육
	15:30 ~16:00	휴식 시간			-
	16:00 ~ 18:00	1조		2조	추후 공지
		애칭 실습 교육		포토 실습 교육
실습 3일차 (1/12(금))	10:00 ~ 12:00	1조		2조	추후 공지
		확산 실습 교육		박막 실습 교육
	12:00 ~ 13:30	점심 시간			-
	13:30 ~ 15:30	1조		2조	추후 공지
		박막 실습 교육		확산 실습 교육
	15:30 ~ 16:30	수료식			추후 공지
	16:30 ~ 18:00	교육정리			-
1) 참가 인원 수에 따라 교육 커리큘럼 변경될 수 있음 2) 실습교육 시 왕복 교통(학교버스) 지원 - 1/10(수) 대구대학교 → 대전 나노종합기술원 - 1/12(금) 대전 나노종합기술원 → 대구대학교 3) 지원사항 - 교통(학교버스) - 숙박 - 식비(조/중/석식) 등 ※ 상세 사항은 교육 전 한번 더 안내 예정 ※