나노융합기술교육(나노측정분석) 안내

1. 교육 일시 : 2016.12.19.(월) ~ 12.20.(화) (2일)

2. 교육 장소 : 포항공과대학교 나노융합기술원

3. 교육 대상 : 관련학과 학부생 및 대학원생 13명 이내

(신청인원이 초과될 경우, 특성화사업 참여학과의 학부생 우선)

4. 교육 일정 : 대구대 출발(9시) → NINT교육(10시~17시) → 대구대 도착(18시)

(※ 통학버스는 중앙기기원에서 제공)

5. 교육 내용

○ 교육개요

- 반도체, MEMS, OLED, 재료 및 분석분야 박사급 연구원 이론강의

- 이론강의와 연계한 실습교육 병행

- 전체적인 실습교육 프로그램과 더불어 희망 장비 심화교육으로 편성

○ 실습장비

장비명	활용용도
HR FE-SEM	FE-SEM 장비를 통한 이미지 형상화
Dual Beam FIB	FIB 장비를 통해 TEM, 3DAP 시편 제작
SIMS	2차이온 분석 실습
SPM System	원자탐침현미경 기초 습득
Sample Prep.	TEM / 3DAP / FIB 시편 제작

나노융합기술교육(나노소자공정) 안내

1. 교육 일시 : 2016.12.21.(수) ~ 12.22.(목) (2일)

2. 교육 장소 : 포항공과대학교 나노융합기술원

3. 교육 대상 : 관련학과 학부생 및 대학원생 13명 이내

(신청인원이 초과될 경우, 특성화사업 참여학과의 학부생 우선)

4. 교육 일정 : 대구대 출발(9시) → NINT교육(10시~17시) → 대구대 도착(18시)

(※ 통학버스는 중앙기기원에서 제공)

5. 교육 내용

○ 교육개요

- 반도체 Fabrication 공정인 포토, 에칭, 확산, 박막 공정 이해

- 각 파트의 장비개요 및 작동법 습득

- 전공정 이해를 통한 반도체 생산라인 이해

○ 실습장비

장비명	활용용도
Laser Lithography Sys	포토공정 실습
Atomic Layer Deposition
E-Beam Lithography SysⅠ
E-Beam Lithography SysⅡ
Mask Aligner for NEMS
NEMS Base System
Atomic Layer Deposition	확산공정 실습
UHV-CVD
Sputter - 1
Furnace
E-Beam Evaporator
LP-CVD System	박막공정 실습
PE-CVD-1
Dry Etcher_ICP	에칭공정 실습
Dry Etcher_20nm급
Wet Station_Acid System
CD-SEM
Process Monitoring System
Deep Reactive Ion Etcher